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金属溅射靶材纯度检测

金属溅射靶材纯度检测

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原创版权 发布时间:2025-09-13 05:54:28 更新时间:2025-10-30 14:28:18 咨询量:1 来源:材料检测中心

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望见谅。

检测信息(部分)

金属溅射靶材是物理气相沉积工艺的核心材料,主要用于半导体、显示面板、光学镀膜等领域的高精度薄膜制备。 纯度检测通过化学分析和物理测试手段,对靶材主体金属含量及杂质元素进行定量分析,确保产品符合行业应用标准。

检测项目(部分)

  • 主元素含量:靶材主要金属成分的实际百分比浓度
  • 氧含量:材料中氧化物的存在形式及总量
  • 氢含量:金属中溶解氢气的含量测定
  • 氮含量:材料内部氮化物杂质的浓度分析
  • 碳含量:有机残留或碳化物的总量检测
  • 硫含量:硫元素及其化合物杂质的总量
  • 密度测试:材料单位体积的质量指标
  • 气体杂质总量:内部包裹气体的总体积
  • 晶粒度:金属晶体结构的尺寸测量
  • 微观孔隙率:材料内部微孔的体积百分比
  • 电阻率:材料导电性能的关键参数
  • 热膨胀系数:温度变化时的尺寸稳定性指标
  • 杂质元素扫描:铝、镁、钙等32种痕量杂质检测
  • 稀土元素总量:镧系元素杂质的总含量
  • 表面氧化物厚度:表层氧化层的厚度测量
  • 放射性元素:钍、铀等放射性杂质含量
  • 重金属残留:铅、汞、镉等有毒元素测定
  • 卤素含量:氟、氯、溴等卤族元素浓度
  • 微观偏析:材料成分分布均匀性评估
  • 晶格缺陷:晶体结构完整性分析

检测范围(部分)

  • 高纯铜靶材
  • 钼合金靶材
  • 铝硅合金靶
  • 钛铝合金靶
  • 氧化铟锡靶
  • 镍钴合金靶
  • 钨钛合金靶
  • 金钽合金靶
  • 银钯合金靶
  • 锌锡氧化物靶
  • 铬硅合金靶
  • 铌锆合金靶
  • 钴铁合金靶
  • 铂铱合金靶
  • 钌钽合金靶
  • 镧系金属靶
  • 铪铝合金靶
  • 镁银合金靶
  • 铟镓合金靶
  • 锗硒化合物靶

检测方法(部分)

  • GD-MS辉光放电质谱法:用于ppb级超痕量杂质元素分析
  • ICP-OES电感耦合等离子体发射光谱:多元素同时定量检测
  • 氧氮氢分析仪:高温熔融法测定气体元素含量
  • XRF-X射线荧光光谱:非破坏性主成分快速筛查
  • 碳硫分析仪:高频燃烧红外吸收法测定
  • 激光粒度分析:粉末靶材粒径分布表征
  • 金相显微镜观测:微观组织结构分析
  • 四探针电阻测试:薄膜电阻率测量
  • 氦气比重法:材料真实密度精确测定
  • SEM-EDS扫描电镜能谱:微区成分与形貌分析

检测仪器(部分)

  • 辉光放电质谱仪
  • 电感耦合等离子体质谱仪
  • 高频红外碳硫分析仪
  • 脉冲熔融氧氮氢分析仪
  • 波长色散X射线荧光光谱仪
  • 场发射扫描电子显微镜
  • 四探针方阻测试仪
  • 真密度分析仪
  • 激光粒度分析仪
  • 金相显微镜系统

检测流程

1、收到客户的检测需求委托。

2、确立检测目标和检测需求

3、所在实验室检测工程师进行报价。

4、客户前期寄样,将样品寄送到相关实验室。

5、工程师对样品进行样品初检、入库以及编号处理。

6、确认检测需求,签定保密协议书,保护客户隐私。

7、成立对应检测小组,为客户安排检测项目及试验。

8、7-15个工作日完成试验,具体日期请依据工程师提供的日期为准。

9、工程师整理检测结果和数据,出具检测报告书。

10、将报告以邮递、传真、电子邮件等方式送至客户手中。

检测实验室(部分)

检测优势

1、综合性检测技术研究院等多项荣誉证书。

2、检测数据库知识储备大,检测经验丰富。

3、检测周期短,检测费用低。

4、可依据客户需求定制试验计划。

5、检测设备齐全,实验室体系完整

6、检测工程师 知识过硬,检测经验丰富。

7、可以运用36种语言编写MSDS报告服务。

8、多家实验室分支,支持上门取样或寄样检测服务。

结语

以上是关于金属溅射靶材纯度检测的检测服务介绍,仅展示了部分检测样品和检测项目,如有其它需求或疑问请咨询在线工程师。

标签:金属溅射靶材纯度检测
 
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