北检院专注科研测试-助力科技进步
您的位置: 首页 > 材料检测
材料检测   
靶材测试

靶材测试

CMA认证科研检测机构

集体所有制研究所

去咨询

原创版权 发布时间:2025-04-16 21:05:37 更新时间:2025-07-23 00:02:14 咨询量:1 来源:材料检测中心

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望见谅。

检测信息(部分)

什么是靶材?

靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)或溅射镀膜工艺的核心材料,通常由金属、合金或化合物制成,广泛应用于半导体、显示面板、太阳能电池等领域。

靶材检测的用途范围有哪些?

靶材检测主要用于确保材料成分、纯度、密度、微观结构等性能符合工业标准,适用于电子器件制造、光学镀膜、新能源材料开发等场景。

靶材检测的概要包括哪些内容?

检测涵盖成分分析、物理性能测试、表面形貌观察及镀膜效果验证,确保靶材满足特定工艺的可靠性和一致性。

检测项目(部分)

  • 成分分析:测定靶材中主元素及杂质含量
  • 密度测试:评估材料致密性及内部孔隙率
  • 硬度测试:衡量材料抵抗塑性变形的能力
  • 晶粒尺寸:分析微观组织结构对性能影响
  • 表面粗糙度:影响镀膜均匀性的关键参数
  • 热膨胀系数:评估材料热稳定性
  • 电导率:验证材料导电性能
  • 磁性能:检测铁磁性材料的磁化特性
  • 抗拉强度:测试材料的力学承载能力
  • 氧含量:控制化合物靶材的氧化程度
  • 溅射速率:评估镀膜工艺效率
  • 残余应力:分析加工过程产生的内部应力分布
  • 孔隙率检测:量化材料内部空隙比例
  • 镀膜附着力:验证靶材成膜后的结合强度
  • 元素分布均匀性:确保材料成分一致性
  • 热导率:评估材料散热性能
  • 耐腐蚀性:测试环境稳定性
  • 微观形貌观察:分析表面及截面结构特征
  • 纯度等级:确定材料杂质控制水平
  • 晶格常数:表征晶体结构的核心参数

检测范围(部分)

  • 金属靶材(铜、铝、钛等)
  • 合金靶材(镍铬、钴铁、钛铝等)
  • 陶瓷靶材(氧化铟锡、氮化硅等)
  • 稀土靶材
  • 贵金属靶材(金、银、铂等)
  • 磁性材料靶材
  • 透明导电氧化物靶材
  • 碳基靶材(石墨、类金刚石等)
  • 半导体化合物靶材
  • 高熔点金属靶材
  • 多层复合靶材
  • 纳米结构靶材
  • 溅射旋转靶材
  • 平面磁控靶材
  • 反应溅射靶材
  • 高纯金属靶材
  • 超硬材料靶材
  • 功能梯度靶材
  • 有机高分子靶材
  • 生物相容性靶材

检测仪器(部分)

  • X射线衍射仪(XRD)
  • 扫描电子显微镜(SEM)
  • 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
  • 原子力显微镜(AFM)
  • 辉光放电质谱仪(GD-MS)
  • 万能材料试验机
  • 激光粒度分析仪
  • 四探针电阻率测试仪
  • 热膨胀系数测定仪
  • 真空镀膜设备

检测流程

1、收到客户的检测需求委托。

2、确立检测目标和检测需求

3、所在实验室检测工程师进行报价。

4、客户前期寄样,将样品寄送到相关实验室。

5、工程师对样品进行样品初检、入库以及编号处理。

6、确认检测需求,签定保密协议书,保护客户隐私。

7、成立对应检测小组,为客户安排检测项目及试验。

8、7-15个工作日完成试验,具体日期请依据工程师提供的日期为准。

9、工程师整理检测结果和数据,出具检测报告书。

10、将报告以邮递、传真、电子邮件等方式送至客户手中。

检测实验室(部分)

检测优势

1、综合性检测技术研究院等多项荣誉证书。

2、检测数据库知识储备大,检测经验丰富。

3、检测周期短,检测费用低。

4、可依据客户需求定制试验计划。

5、检测设备齐全,实验室体系完整

6、检测工程师专业知识过硬,检测经验丰富。

7、可以运用36种语言编写MSDS报告服务。

8、多家实验室分支,支持上门取样或寄样检测服务。

结语

以上是关于靶材测试的检测服务介绍,仅展示了部分检测样品和检测项目,如有其它需求或疑问请咨询在线工程师。

标签:靶材测试
 
咨询工程师