SEM-EDS检测_第三方检测机构_试验中心「北检（北京）检测技术研究院」

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望见谅。

检测信息

SEM-EDS是一种结合扫描电子显微镜与能谱仪的微观形貌与微区成分分析技术，广泛应用于材料科学、半导体器件、矿产鉴定和失效分析领域。

检测的主要目的是同时获取样品的高倍率表面形貌图像和特定微区的元素组成，涉及二次电子信号采集和特征X射线能谱分析等技术手段。

检测流程通常包括样品制备、真空舱内电子束扫描、特征信号收集以及数据软件处理，核心参数包括加速电压、束流大小和工作距离。

常见问题

SEM-EDS检测需要多长时间？

通常7-15个工作日，具体时间视样品制备难度和测试点数量而定。

SEM-EDS检测费用大概多少？

根据检测项目数量确定，测试点越多、元素分析面扫要求越复杂，费用相应增加。

SEM-EDS检测对样品有什么要求？

样品需在真空中稳定且无挥发物，尺寸一般要求直径不超过50毫米，高度不超过40毫米，非导电样品需进行喷金或喷碳处理。

SEM-EDS检测项目

微观形貌观察：用于分析样品表面的几何形状、颗粒大小及分布状态
元素面分布分析：用于评估特定元素在观察区域的均匀性和偏聚情况
元素线扫描分析：用于测定元素沿指定路径的浓度变化趋势，常用于界面扩散分析
微区元素定量分析：用于计算微区中各元素的重量百分比和原子百分比
夹杂物成分分析：用于鉴定非金属夹杂物的种类和来源
断口形貌分析：用于判断材料断裂模式如解理、韧窝或疲劳断裂
相组成分析：用于区分合金中不同相的元素构成
镀层厚度测量：通过截面线扫描计算表面涂覆层的厚度及界面元素扩散深度
颗粒度分析：用于测量粉末的粒径分布及形貌特征
孔隙率测定：用于评估材料内部孔隙的尺寸和分布比例
晶体形貌观察：用于显示晶粒的形状、大小及晶界特征
腐蚀产物分析：用于鉴定材料表面腐蚀产物的化学成分
磨损机制分析：通过磨痕形貌和转移层成分判断磨损类型
夹杂物尺寸测量：用于评估非金属夹杂物对材料力学性能的影响程度
界面结合分析：用于观察复合材料基体与增强体之间的界面状态
元素分布均匀性评估：用于判定合金化元素或杂质在基体中的分布均匀程度
表面污染分析：用于识别材料表面附着物或异物的成分
涂层成分梯度分析：用于分析功能梯度涂层中元素的过渡情况
焊点金属间化合物分析：用于测定焊接界面IMC层的成分及厚度
晶界析出相分析：用于鉴定晶界析出物的化学成分及形态

检测范围

金属断口SEM-EDS分析
粉末颗粒形貌与成分SEM-EDS分析
镀层截面SEM-EDS分析
非金属夹杂物SEM-EDS分析
矿物岩石SEM-EDS分析
聚合物共混物SEM-EDS分析
陶瓷材料SEM-EDS分析
半导体器件SEM-EDS分析
焊点与焊接接头SEM-EDS分析
电池极片SEM-EDS分析
催化剂SEM-EDS分析
玻璃缺陷SEM-EDS分析
纤维材料形貌SEM-EDS分析
涂层表面SEM-EDS分析
生物医学材料SEM-EDS分析
腐蚀产物SEM-EDS分析
磨损表面与磨屑SEM-EDS分析
纳米材料SEM-EDS分析
铸件缺陷SEM-EDS分析
复合材料界面SEM-EDS分析
3D打印件SEM-EDS分析
电子元器件异物SEM-EDS分析

检测标准（部分）

IES SEM-11-14 IES Seminar - Light Sources & Auxiliary Devices
IES SEM-11-IM-14 IES Seminar - Light Sources & Auxiliary Devices - Instructor's Manual
NEMA SEM S1-2018 Small Electric Motors
IES SEM-4-14 IES Seminar - Lighting Controls For Non-Residential Building
GB/T 20726-2025 微束分析扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法
T/CIET 1253-2025 扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术规范
ASTM E2809-22 Standard Guide for Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (SEM/EDS) in Forensic Polymer Examinations
ISO 15632:2021 Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
ASTM E3309-21 Standard Guide for Reporting of Forensic Primer Gunshot Residue (pGSR) Analysis by Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
ASTM E3345-26 Standard Practice for Opinions on the Interpretation of Primer Gunshot Residue (pGSR) Analysis by Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
ASTM E3284-23 Standard Practice for Training in the Forensic Examination of Primer Gunshot Residue (pGSR) Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
DIN ISO 15632:2022-09 Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021)
BS ISO 15632:2021 Microbeam analysis. Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
KS D ISO 15632 마이크로빔 분석 — 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)에서 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기(EDS)의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터
KS D ISO 15632-2023 마이크로빔 분석 — 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)에서 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기(EDS)의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터
DIN ISO 15632:2022-03 Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021); Text in German and English
GB/T 17362-2008 黄金制品的扫描电镜X射线能谱分析方法
GB/T 25189-2010 微束分析扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
GB/T 46057-2025 微束分析扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
GA/T 909-2010 微量物证的提取、包装方法　扫描电子显微镜/能谱法检验射击残留物