EDS检测_第三方检测机构_试验中心「北检（北京）检测技术研究院」

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望见谅。

检测信息

EDS是一种能量色散X射线光谱分析技术，主要用于固体材料的元素成分定性和定量分析，广泛应用于冶金、半导体、矿物及失效分析领域。其检测目的在于获取材料微观区域的元素分布及含量信息，涉及电子束激发特征X射线及能谱解析技术手段。

检测流程涵盖样品制备、喷碳镀膜处理、电镜腔体真空抽气、电子束轰击标定及能谱探测器采集，核心参数包括铍窗透过率、死时间控制率及不同电压下的特征峰强度比值。

该技术可配合扫描电镜或透射电镜实现微米至纳米级空间分辨率下的元素面分布与线扫描分析，输出数据包含元素重量百分比和原子百分比。

检测范围

金属及其合金材料EDS分析，涵盖钢铁、铝合金、钛合金、铜合金等
电子元器件及焊点截面EDS分析，用于排查电迁移或锡须生长导致的失效
矿物岩石抛光片微区EDS分析，用于鉴定硅酸盐、碳酸盐及氧化物矿物种类
陶瓷材料断口及表面EDS分析，用于测定氧化铝、氧化锆等结构陶瓷的元素组成
复合材料界面EDS分析，涵盖碳纤维增强树脂基及金属基复合材料的界面元素扩散
涂层与镀层截面EDS分析，用于评估物理气相沉积、化学气相沉积涂层的成分梯度
玻璃及非晶态材料EDS分析，用于测定硅酸盐玻璃、硼酸盐玻璃的主次量元素含量
催化剂颗粒EDS分析，用于测定载体表面活性金属组分的分布及载流元素比例
电池极片及隔膜EDS分析，用于检测锂离子电池正负极材料及固态电解质界面元素分布
半导体器件截面EDS分析，用于分析硅基芯片、砷化镓器件及外延层的元素组成
生物医用材料EDS分析，涵盖羟基磷灰石涂层、钛合金植入物表面改性层的元素测定
粉末冶金制品EDS分析，用于检测金属粉末烧结体中孔隙及硬质相的元素分布
耐材及耐火材料EDS分析，用于鉴定镁碳砖、高铝砖等耐火制品的矿物相组成
地质样品单矿物EDS分析，用于测定岩石薄片中发现的重矿物或副矿物的化学成分
高分子材料填料EDS分析，用于检测塑料或橡胶中无机阻燃剂及增强填料的元素种类
环境颗粒物EDS分析，用于测定大气悬浮颗粒物及工业粉尘的无机元素组成
失效分析断口EDS分析，用于检测金属材料断裂面、疲劳裂纹区域的腐蚀产物或夹杂物
珠宝玉石及贵金属饰品EDS分析，用于测定金、银、铂饰品表面及内部包裹体成分
焊接及热影响区EDS分析，用于检测熔合线附近元素烧损、偏析及氧化物夹杂
磁性材料微观结构EDS分析，用于测定钕铁硼、铁氧体永磁材料中主相与富钕相的成分
薄膜及纳米材料EDS分析，用于测定磁控溅射薄膜、原子层沉积薄膜的元素比例及均匀性

检测标准（部分）

GB/T 18735-2002 分析电镜(AEM/EDS)纳米薄标样通用规范
GB/T 16840.7-2021 电气火灾痕迹物证技术鉴定方法第7部分:EDS成分分析法
ISO 20720:2018 Microbeam analysis — Methods of specimen preparation for analysis of general powders using WDS and EDS
GB/T 20726-2025 微束分析扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法
20253748-T-469 微束分析分析电镜（AEM/EDS）纳米薄标样通用规范
AWWA ACE63056 Dual-Objective Membrane Pretreatment: Fouling Reduction and Removal of Pharmaceuticals/EDS
BS ISO 20720:2018 Microbeam analysis. Methods of specimen preparation for analysis of general powders using WDS and EDS
KS D ISO 22309(2021 Confirm)(2021) 마이크로빔 분석－에너지 분산 분광법(EDS)을 이용한 정량 분석
KS D ISO 22309-2011(2021) 마이크로빔 분석－에너지 분산 분광법(EDS)을 이용한 정량 분석
KS D ISO 22309-2011(2016) 마이크로빔 분석－에너지 분산 분광법(EDS)을 이용한 정량 분석
DB65/T 4489-2022 天然彩色棉鉴别方法EDS能谱分析法
ISO 22309:2011 Microbeam analysis — Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above
DIN ISO 22309:2015-11 Microbeam analysis - Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above (ISO 22309:2011)
AWWA MTC64594 Removal of Selected Pharmaceutical/EDS and Fouling Control Using Membrane Filtration and Biological Filtration as Pre-Treatment
ISO 22309:2006 Microbeam analysis — Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS)
SAE ARINC827-1 ELECTRONIC DISTRIBUTION OF SOFTWARE BY CRATE (EDS CRATE)
ASTM E2809-22 Standard Guide for Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (SEM/EDS) in Forensic Polymer Examinations
SAE ARINC827 ELECTRONIC DISTRIBUTION OF SOFTWARE BY CRATE (EDS CRATE)
T/CIET 1253-2025 扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术规范
ISO 15632:2021 Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)